Prime Wafer

Lechadas de pulido de obleas de primera

Nalco Water ha suministrado sílice coloidal a la industria de las obleas durante décadas, y nuestra amplia experiencia nos permite producir algunos de los lodos de pulido de silicio de mayor calidad de la industria. 

Nuestros productos de sílice coloidal altamente estables ofrecen una pureza excepcional y un tamaño de partícula, distribución y morfología controlados para un rendimiento óptimo en sus procesos de pulido de obleas.

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Diseño de lodos para pulido de obleas para:

Shield with checkmark

Altas tasas de eliminación

 

Gears with arrows

Rendimiento constante

 

Arrow pointed down in circle.

Baja defectuosidad

 

Disinfection Icon
Excelente acabado superficial y planitud


Compuestos acuosos de sílice coloidal listos para usar para el pulido de obleas de silicio

  • Tamaño (nm): 60 
  • pH: 11 
  • Estabilizante: Na+

  • Tamaño (nm): 60 
  • pH: 8.5 
  • Estabilizante: Na+

  • Tamaño (nm): 85 
  • pH: 11-12 
  • Estabilizador: NH4 
  • Notas: aditivo quelante

  • Tamaño (nm): 85 
  • pH: 11-12 
  • Estabilizador: NH4 
  • Notas: alta tasa de eliminación de Si. Peligroso.

  • Tamaño (nm): 120
  • Área m2/gm: 25
  • % de sólidos: 47
  • pH: 9-10
  • Estabilizador: K+

Chemical Mechanical Planarization

Abordar múltiples aplicaciones de pulido

Nuestros lodos de pulido a base de sílice coloidal se utilizan ampliamente para los pasos de pulido de la materia prima, pulido de bordes y pulido final en la fabricación de obleas de silicio y otros sustratos semiconductores para microchips.

Estos compuestos acuosos también se utilizan en óptica para el acabado con precisión de superficies, en vidrios de relojes y en otros componentes de vidrio.

nanopartículasparapulido

Innovación para satisfacer las necesidades de los formuladores de lodos de CMP

Nalco Water ha reunido sus capacidades de fabricación de sílice coloidal para ofrecer innovadoras nanopartículas de alta pureza que satisfacen las necesidades de quienes formulan lodos de CMP (planarización químico-mecánica).

  • Nanopartículas a base de cristales de agua de pureza ultraalta
  • Amplia gama de tamaños de partículas, distribución de tamaños y concentraciones
  • Productos de ingeniería diseñados para permanecer estables en un amplio rango de pH
  • Estrecha colaboración entre investigaciones
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Nalco Water es líder en sílice coloidal

  • Primer proceso de fabricación de sílice coloidal patentado en 1941
  • Uno de los mayores fabricantes de sílice coloidal a nivel mundial
  • Equipos innovadores de I+D+i para el desarrollo de productos personalizados
  • Productos diseñados para la eficiencia, la calidad y el control de la fabricación
  • Ofrecemos un alto valor mediante un diseño de partículas innovador y un soporte de calidad

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Referencias

  1. Los productos se fabricaron utilizando el enfoque de ingeniería LMSII para eliminar metales; [Cu] y [Ni] menos de 20 ppb. Disponibilidad sujeta al volumen. ↵