Silicon wafer production on automated robotic arm

Una fábrica de semiconductores ahorra ahorra agua, costes y tiene un menor impacto medioambiental gracias a una mejor visibilidad de la operación del agua de refrigeración de procesos (PCW)

Contexto

Una gran fábrica de semiconductores estadounidense experimentaba una variedad de dificultades operativas en sus ciclos de agua de refrigeración de procesos (PCW), lo que afectaba negativamente a las instalaciones de diferentes maneras:

DESAFÍO

RESULTADO

IMPACTO

 

Fugas de agua no detectadas

  • Dificultades para mantener los niveles correctos del tratamiento químico
  • Alto uso de agua de retorno
  • Potencial daño por corrosión de las herramientas en el ciclo de PCW
  • Potencial riesgo de formación de película biológica en las superficies del intercambiador de calor
  • Superación del presupuesto del tratamiento
  • Uso de agua excesivo, altos costes del agua

 

Visibilidad insuficiente de las condiciones del agua de refrigeración de procesos

  • Dificultades para recopilar información suficiente para plantear el caso para tomar acciones
  • Capacidad limitada de vincular los problemas del PCW con otros asuntos vitales para la fábrica
  • Potencial para problemas no solucionados que pueden afectar al tiempo productivo y fiabilidad de la fábrica

 

Descarga de agua incontrolada

  • Descarga excesiva de azoles
  • Preocupación de los trabajos de tratamiento de propiedad pública (POTW) local respecto al impacto en sus operaciones


Los gerentes de servicios públicos de la fábrica sospechaban de varios de estos problemas, pero no disponían de datos convincentes para diagnosticar y cuantificar el impacto de los mismos. Esto dificultaba que la fábrica priorizada la resolución de problemas y tomara las acciones correctivas necesarias.

 


Solución

La fábrica implementó un programa de tratamiento de Nalco Water para ayudar a gestionar su sistema de PCW. Para controlar la calidad del agua en los ciclos de PCW, Se implementó un programa 3D TRASAR™ con las siguientes capacidades:

  • Trazador inerte para gestionar las pérdidas de agua, comunes en los sistemas de PCW
  • Medidas de corrosión en tiempo real para afirmar rendimiento de control de la corrosión
  • Medida de pH y conectividad en tiempo real para detectar fugas en el proceso

Poco después de la puesta en marcha, los datos del controlador 3D TRASAR detectó, por primera vez, fugas de agua en los ciclos del PCW.

Según la tasa de deterioro del trazador inerte en un periodo de tiempo específico y el volumen conocido del ciclo, fue posible realizar un cálculo preciso de la pérdida de agua. Antes de eso, la única señal de pérdida de agua era la posición de la válvula del agua de retorno en el ciclo.

A continuación, el equipo de gestión de servicios públicos y los propietarios de la herramienta se equiparon con recursos para identificar la localización de las fugas para que los propietarios de la herramienta pudieran tomar las medidas correctivas necesarias. Se tomó el siguiente enfoque:

  1. Se añadió un trazador fluorescente especializado al ciclo del PCW, con una longitud de onda distinta para distinguirlo de los productos químicos del tratamiento.
  2. Se proporcionó a los propietarios de la herramienta de bolígrafos fluorométricos para comprobar todos los desagües del suelo. Esta prueba se diseño para ser rápida, sencilla y fiable, permitía detectar rápidamente una fuga sin que el operador tuviera que tener grandes conocimientos.
  3. En caso de detectar señales del trazador, el equipo de las instalaciones y el propietario de la herramienta serían notificados. En la mayoría de los casos, las fugas se resolvieron rápidamente. La detección del trazador en el desagüe de un conjunto de herramientas hizo que algunos conjuntos específicos se convirtieran en el centro de la investigación. Se comprobaron los intercambiadores de calor asociados con ese conjunto de herramientas, incluyendo mediciones de la presión y el reemplazo del intercambiador, en caso necesario.

Se eligió este trazador inerte por varias características concretas:

CARACTERÍSTICA DEL TRAZADOR

VENTAJA PARA LA DETECCIÓN DE FUGAS

Funciona en un espectro distinto que aquellos utilizados para el tratamiento químico del ciclo del PCW

Tiene una medida diferente que no interfiere con el programa de tratamiento del ciclo del PCW

La respuesta es independiente del pH y la temperatura

No es necesario tener unas condiciones específicas para tomar la medida; amplio espectro de aplicación

La respuesta se encuentra en una región muy baja del espectro

Ofrece visibilidad en una región del espectro donde la presencia de otras potenciales interferencias sería extraña

Respuesta eficaz a bajas concentraciones

Alta concentración: la detección es una sencilla condición de "sí" o "no"

Rápido, preciso y fácil de usar

El bolígrafo trazador no requiere de conocimientos avanzados del operador


Resultados

Este trabajo obtuvo importantes mejoras en la fábrica:

Se redujeron las fugas del ciclo del PCW y se estima un ahorro de 10.9 millones de galones de agua al año.

Los niveles de azoles en los efluentes de la fábrica se redujeron en un 64%, lo que supone una reducción de 7.260 libras. De este modo se calmaron las preocupaciones de los trabajos de tratamiento de propiedad pública (POTW) local sobre las concentraciones de azole entrantes.

El programa estabilizó los productos químicos del sistema del PCW de la fábrica, lo que redujo su riesgo de corrosión y redujo la demanda de atención operativa práctica. Como resultado, los recursos de personal y proveedores pudieron ser reubicados a tareas de mayor valor.

La combinación de un menor gasto en productos químicos y en costes operativos del agua ultrapura generaron ahorros netos de más de 674.000 $ al año. El esfuerzo del equipo también generó una estructura interna en la fábrica para mantener la continuidad de las ganancias.

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eROI by Ecolab logo

Ahorro anual

  • Water eROI icon

    Agua
    10,9 millones de galones*

    (41,3 millones de litros) al año

  • eROI Cost icon

    Costes
    USD $674.000*

    al año

  • eROI Greenhouse gas emissions Icon

    Responsabilidad medioambiental

    64% al año*

    Descarga de azoles reducida 

  • Valor total entregado:
    $674.000 al año

*Datos proporcionados por el cliente

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